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龙图腾网获悉广东众元半导体科技有限公司申请的专利一种温度场自补偿的真空样品台加热装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115807262B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111064445.2，技术领域涉及：C30B23/06；该发明授权一种温度场自补偿的真空样品台加热装置是由刘胜;甘志银;沈桥;植成杨;严晗设计研发完成，并于2021-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种温度场自补偿的真空样品台加热装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种温度场自补偿的真空样品台加热装置，主要包含5个部分，内圈加热片，主加热片一，主加热片二，主加热片三，外圈加热片。本发明专利所设计加热器结构上的形变自补偿可以平衡由于高温变形所带来的加热温度场整体偏移。此外，通过调节主加热片一、主加热片二和主加热片三的加热功率关系，再通过内圈加热片和外圈加热片的加热功率优化，可以实现样品台托盘上的高温温度均匀。本发明专利的加热装置可以很方便的实现尺寸拓展，尤其适合多片大尺寸外延生长系统的均匀加热。

本发明授权一种温度场自补偿的真空样品台加热装置在权利要求书中公布了：1.一种温度场自补偿的真空样品台加热装置，主要包含样品台托盘部分，加热器部分，陶瓷支撑部分，双层反射板部分、转轴部分；其特征在于所述加热器部分包含5个部分，从内到外依次为内圈加热片、主加热片一、主加热片二、主加热片三、外圈加热片，主加热片二为同等直径尺寸的圆弧形加热片依次连接形成，相邻两个圆弧形加热片在连接点处的几何切线重合，主加热片一和主加热片三为两种不同直径尺寸的圆弧形加热片按小圆弧、大圆弧循环的顺序依次连接形成，相邻两个圆弧形加热片在连接点处的几何切线重合，所述主加热片一、主加热片二和主加热片三的沿着径向方向相邻圆弧为同心圆，主加热片一的小圆弧半径与主加热片三的小圆弧半径相同，主加热片一的大圆弧半径与主加热片三的大圆弧半径相同，主加热片一和主加热片二的圆弧的垂直法线距离与主加热片二和主加热片三的圆弧的垂直法线距离相等，其距离范围为5毫米~10毫米，所述内圈加热片、主加热片一、主加热片二、主加热片三、外圈加热片的厚度相同，其厚度范围为0.5毫米~1.5毫米；主加热片一，主加热片二和主加热片三的宽度相同，其宽度范围为2毫米~10毫米；所述内圈加热片和外圈加热片的宽度相同，并且内圈加热片的宽度是主加热片一宽度的1.5~3倍；所述内圈加热片和外圈加热片的加热功率分别独立控制，所述主加热片一、主加热片二、主加热片三的加热功率互相耦合，其耦合关系为：设主加热片一的加热功率为P1，主加热片二的加热功率为P2，主加热片三的加热功率为P3，则P1=a+bP2；P3=c+dP2，其中，a和c的参数数值由加热器的结构和材料参数确定，b和d的参数数值由加热器的目标温度确定。

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