奇跃公司V·K·刘获国家专利权
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龙图腾网获悉奇跃公司申请的专利程序电子束光刻获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115151784B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180016720.5，技术领域涉及：G01B9/021；该发明授权程序电子束光刻是由V·K·刘;M·梅利设计研发完成，并于2021-02-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本程序电子束光刻在说明书摘要公布了：程序EBL系统实现用户提供的oracle函数例如，与特定图案相关联以按需生成用于电子束驱动电子设备的控制指令。控制系统可以调用oracle函数来查询各个点位置例如，各个x、y位置处的图案，和或例如它可以查询与由束和平台定位器正在寻址的当前场区相对应的区域上的图案。该程序EBL配置管理控制和图案生成，使得低级驱动电子设备和束柱可以保持不变，从而允许其利用现有的EBL技术。
本发明授权程序电子束光刻在权利要求书中公布了：1.一种计算系统，包括： 存储与要在基板上产生的图案相关联的oracle函数的非暂态计算机可读存储设备，其中，所述oracle函数可执行以接收所述基板的坐标作为输入并提供包括由在所述基板的所述坐标处的电子束光刻系统可用的包括曝光设置的控制数据的输出，以提供由所述电子束光刻系统可用于产生所述图案的动态曝光设置； 具有一个或多个硬件计算机处理器的控制系统，所述控制系统被配置为，对于要在所述基板上产生的所述图案的多个场区中的每一个场区： 对于所述基板的多个坐标中的每一个坐标： 确定所述基板的坐标； 使用所述基板的所确定的坐标调用所述oracle函数； 从所述oracle函数接收包括曝光设置的控制数据，所述控制数据被配置为控制电子束光刻系统的操作； 向电子束光刻驱动电子设备发送所述控制数据；以及电子束光刻驱动电子设备，其被配置为： 接收所述控制数据； 基于所述控制数据确定所述电子束光刻系统的电流、电压、或消隐中的一项或多项。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人奇跃公司，其通讯地址为：美国佛罗里达州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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