株式会社斯库林集团北岸大一获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置、示教信息生成方法、示教套件和基板夹具获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115132616B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210303673.9，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置、示教信息生成方法、示教套件和基板夹具是由北岸大一;堀口博司设计研发完成，并于2022-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置、示教信息生成方法、示教套件和基板夹具在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理装置、示教信息生成方法、示教套件和基板夹具。在基板处理装置中，以利用位于基板保持部上方的手来保持下表面设置有以非直线状配置的三个光电传感器的基板夹具的状态，通过基板旋转机构使基板保持部进行旋转，从而形成预先设置在基板保持部上的标记的圆周状的旋转轨迹。示教部基于由三个光电传感器各自得到的相对于旋转轨迹的相对位置，算出手相对于基板保持部的俯视下的相对位置，生成表示手和基板保持部的俯视下的相对位置关系的水平示教信息。由此，能够简化示教信息的生成处理。
本发明授权基板处理装置、示教信息生成方法、示教套件和基板夹具在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，具备： 处理部，其对基板实施预定的处理； 搬运机器人，其向所述处理部搬运所述基板；以及示教部，其向所述搬运机器人示教所述处理部中的所述搬运机器人的基板搬运位置，所述处理部具备： 基板保持部，其将所述基板以水平状态保持；以及基板旋转机构，其使所述基板保持部以朝向上下方向的旋转轴为中心旋转，所述搬运机器人具备手，该手在与所述基板保持部之间进行所述基板的传递，在利用位于所述基板保持部的上方的所述手，对在下表面设置有以非直线状配置的三个光学传感器的基板夹具进行保持的状态下，通过所述基板旋转机构使所述基板保持部进行旋转，从而形成预先设置在所述基板保持部上的标记的圆周状的旋转轨迹，所述示教部基于由所述三个光学传感器分别得到的相对于所述旋转轨迹的相对位置，算出所述手相对于所述基板保持部的俯视下的相对位置，生成表示所述手和所述基板保持部的俯视下的适当的相对位置关系的水平示教信息。
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