买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉北京七星华创集成电路装备有限公司申请的专利晶圆对准装置及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114899137B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210462129.9，技术领域涉及：H10P72/50；该发明授权晶圆对准装置及半导体设备是由杨星;孙增强设计研发完成，并于2022-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆对准装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆对准装置及半导体设备，晶圆对准装置设置在半导体设备上，用于对放置于半导体设备上的装载部件中的晶圆边缘的平口朝向进行调节，装载部件用于装载晶圆，晶圆对准装置包括升降机构、转动机构和限位机构，升降机构与转动机构连接，并与限位机构连接，用于驱动转动机构和限位机构升降；转动机构用于在其上升至与晶圆的边缘接触，并与装载部件配合共同支撑晶圆时，带动晶圆转动；限位机构用于在转动机构带动晶圆转动的过程中，与晶圆的平口相配合，对晶圆停止转动的位置进行限定。本发明提供的晶圆对准装置及半导体设备，能够提高晶圆平口方向调节的精度，提高半导体工艺稳定性。

本发明授权晶圆对准装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆对准装置，设置在半导体设备上，用于对放置于所述半导体设备上的装载部件中的所述晶圆边缘的平口朝向进行调节，所述装载部件用于装载所述晶圆，其特征在于，所述晶圆对准装置包括升降机构、转动机构和限位机构，所述升降机构与所述转动机构连接，并与所述限位机构连接，用于驱动所述转动机构和所述限位机构升降； 所述转动机构用于在其上升至与所述晶圆的边缘接触并顶起所述晶圆，并与所述装载部件配合共同支撑所述晶圆时，带动所述晶圆转动； 所述限位机构用于在所述转动机构带动所述晶圆转动的过程中，与所述晶圆的平口相配合，对所述晶圆停止转动的位置进行限定； 所述限位机构还用于在对所述晶圆停止转动的位置进行限定之后，下降至与所述晶圆分离，以取消对所述晶圆的限位，所述转动机构还用于在所述限位机构取消对所述晶圆的限位之后，继续带动所述晶圆转动，并使所述晶圆转动的线速度与所述转动机构转动的线速度相同； 所述限位机构包括限位部件和升降组件，所述升降机构通过所述升降组件与所述限位部件连接，所述升降组件用于驱动所述限位部件上升至所述限位部件能够在所述转动机构带动所述晶圆转动的过程中与所述晶圆的平口相配合，对所述晶圆停止转动的位置进行限定，或者驱动所述限位部件下降至与所述晶圆分离，取消所述限位部件对所述晶圆的限位； 所述限位部件包括限位板，所述限位板用于在所述升降组件的驱动下，上升至其顶部与所述转动机构的顶部平齐，以使其顶部能够与所述晶圆的平口相抵，对所述晶圆停止转动的位置进行限定，或者下降至其顶部低于所述转动机构的顶部，以使其与所述晶圆分离。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京七星华创集成电路装备有限公司，其通讯地址为：101312 北京市顺义区天竺综合保税区竺园三街6号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。