买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利信息处理装置、程序和工艺条件搜索方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114861930B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210085909.6，技术领域涉及：G06Q10/04；该发明授权信息处理装置、程序和工艺条件搜索方法是由野田勇人;山崎翔太;竹永裕一;福元敏之设计研发完成，并于2022-01-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本信息处理装置、程序和工艺条件搜索方法在说明书摘要公布了：本发明提供信息处理装置、程序和工艺条件搜索方法，其使用半导体制造装置的机器学习模型，搜索能够达成作为目标的工艺结果的工艺条件。为了解决上述问题，信息处理装置生成依照工艺条件执行处理的半导体制造装置的机器学习模型，使用机器学习模型搜索能够达成作为目标的工艺结果的工艺条件，并包括：选择使用多个回归方法所生成的多个机器学习模型中的、适合于数据集的机器学习模型的模块；使用所选择的机器学习模型进行优化计算，计算多个工艺条件、工艺结果的预测值和预测值的可靠度的模块；根据工艺结果的预测值和预测值的可靠度，选择1个以上的工艺条件的模块；以及显示所选择的工艺条件、工艺结果的预测值和预测值的可靠度的模块。

本发明授权信息处理装置、程序和工艺条件搜索方法在权利要求书中公布了：1.一种信息处理装置，其特征在于： 所述信息处理装置生成依照工艺条件执行处理的半导体制造装置的机器学习模型，使用所述机器学习模型搜索能够达成作为目标的工艺结果的所述工艺条件，并包括： 机器学习模型选择模块，其选择使用多个回归方法所生成的多个所述机器学习模型中的、适合于在所述机器学习模型的学习中使用的数据集的所述机器学习模型； 计算模块，其使用所选择的所述机器学习模型进行优化计算，计算达成所述作为目标的工艺结果的多个所述工艺条件、与所述工艺条件对应的所述工艺结果的预测值和所述预测值的可靠度； 工艺条件选择模块，其根据所述工艺结果的预测值和所述预测值的可靠度，从达成所述作为目标的工艺结果的多个所述工艺条件中选择1个以上的所述工艺条件；以及显示控制模块，其显示所选择的所述工艺条件、与所选择的所述工艺条件对应的所述工艺结果的预测值和所述预测值的可靠度，所述工艺条件选择模块还基于对所述作为目标的工艺结果中包含的多个目标值赋予的优先级、对所述工艺条件中包含的为了达成所述作为目标的工艺结果而调节的多个调节对象的优先级、和所述目标值相对于所述工艺结果的预测值的达成度，从达成所述作为目标的工艺结果的多个所述工艺条件中选择1个以上的所述工艺条件。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。