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罗伯特·博世有限公司S·基泽尔获国家专利权

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龙图腾网获悉罗伯特·博世有限公司申请的专利微机械结构和微机械传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114162776B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111060915.8,技术领域涉及:B81B3/00;该发明授权微机械结构和微机械传感器是由S·基泽尔;C·纳格尔;S·京特设计研发完成,并于2021-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。

微机械结构和微机械传感器在说明书摘要公布了:本发明涉及微机械结构,具有衬底和相对于衬底可动的振动质量及第一和第二探测机构。第一方向和基本垂直于它的第二方向限定衬底的主延伸平面。第一探测机构用于探测振动质量的平移偏转。第二探测机构用于探测振动质量的旋转偏转。振动质量通过锚固件和四个扭转弹簧部段与衬底连接。第一探测机构具有电极结构,其包括固定于振动质量的第一电极和固定于衬底的第二电极。第一电极和第二电极具有沿第二方向和第三方向基本二维的延展,该第三方向垂直于主延伸平面。锚固件具有第一部段和第二部段,在它们之间设置间隙。连接件连接两个第一电极,该连接件引导通过该间隙。本发明还涉及包括这种微机械结构和用于读取探测机构的电气电路的微机械传感器。

本发明授权微机械结构和微机械传感器在权利要求书中公布了:1.一种微机械结构1,其具有衬底2和相对于所述衬底2可动的振动质量3,还具有第一探测机构4和第二探测机构5,其中第一方向11和基本上垂直于该第一方向11的第二方向12限定所述衬底2的主延伸平面,其中所述第一探测机构4设定为用于探测所述振动质量3沿第一方向11的平移偏转,其中所述第二探测机构5设定为用于探测所述振动质量3绕旋转轴线的旋转偏转,其中所述旋转轴线沿第二方向12设置,其中所述振动质量3通过一个锚固件6和四个沿所述第二方向设置的扭转弹簧部段7与所述衬底2连接,其中所述第一探测机构4具有电极结构,该电极结构包括固定在所述振动质量3上的第一电极41和固定在所述衬底2上的第二电极42,其中所述第一电极41和所述第二电极42具有沿所述第二方向12和沿一第三方向13基本上二维的延展,其中所述第三方向13垂直于所述主延伸平面,其中所述锚固件6具有第一部段61和第二部段62,其中在所述第一部段61与所述第二部段62之间设置有间隙63,其中一连接件8连接两个第一电极41,其中该连接件8引导通过所述间隙63。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人罗伯特·博世有限公司,其通讯地址为:德国斯图加特;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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