世界先进积体电路股份有限公司钱优获国家专利权
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龙图腾网获悉世界先进积体电路股份有限公司申请的专利压电微机械超声波换能器及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114105082B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010881346.2，技术领域涉及：B81B7/02；该发明授权压电微机械超声波换能器及其制作方法是由钱优;拉奇许·库玛;夏佳杰设计研发完成，并于2020-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本压电微机械超声波换能器及其制作方法在说明书摘要公布了：一种压电微机械超声波换能器，包括基板、膜层和牺牲层。基板具有穿透基板的空腔。膜设置在空腔上，并包括第一压电层、底部电极、顶部电极和第二压电层。第一压电层设置在空腔上且包括锚定部，其中第一压电层的锚定部直接接触基板。顶部电极和底部电极设置在第一压电层上。第二压电层设置在底部电极和顶部电极之间。牺牲层设置在基板和第一压电层之间，并且牺牲层的垂直投影不重叠于设置在空腔正上方的膜层的部分的垂直投影。
本发明授权压电微机械超声波换能器及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种压电微机械超声波换能器，包括： 一基板，包括穿透该基板的一空腔； 一膜层，设置在该空腔上，该膜层包括： 一第一压电层，设置在该空腔上，该第一压电层包括一锚定部，其中该第一压电层的该锚定部直接接触该基板，使该第一压电层锚定到该基板上； 一底部电极，设置在该第一压电层上； 一顶部电极，设置在该底部电极上；以及一第二压电层，设置在该底部电极和该顶部电极之间；以及一牺牲层，设置在该基板和该第一压电层之间，其中该牺牲层的垂直投影和该膜层位于该空腔正上方的部分的垂直投影不重叠。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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