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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113675110B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110495346.3，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置是由上山昇太;丸山光昭;大薗启;中岛清次;酒田洋司设计研发完成，并于2021-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理装置。使基板处理装置的生产率提高。基板处理装置具备：基板出入部；第1群组的处理部，其对第1状态的基板进行一系列的处理；第2群组的处理部，其对第1状态的基板进行与由第1群组的处理部进行的一系列的处理同样的一系列的处理；第1输送部，其从基板出入部向第1群组的处理部输送第1状态的基板，并从第1群组的处理部向基板出入部输送利用第1群组的处理部而成为了第2状态的基板；以及第2输送部，其从基板出入部向第2群组的处理部输送第1状态的基板，并从第2群组的处理部向基板出入部输送利用第2群组的处理部而成为了第2状态的基板。

本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，该基板处理装置具备： 基板出入部，其从外部接收第1状态的基板，并向外部送出第2状态的基板； 第1群组的处理部，其包括进行互不相同的处理的两个处理部，对所述第1状态的基板进行用于将所述第1状态变为所述第2状态的一系列的处理； 第2群组的处理部，其包括进行互不相同的处理的两个处理部，对所述第1状态的基板进行与由所述第1群组的处理部进行的一系列的处理同样的一系列的处理； 第1输送部，其从所述基板出入部向所述第1群组的处理部输送所述第1状态的基板，并从所述第1群组的处理部向所述基板出入部输送利用所述第1群组的处理部而成为了所述第2状态的基板；以及第2输送部，其从所述基板出入部向所述第2群组的处理部输送所述第1状态的基板，并从所述第2群组的处理部向所述基板出入部输送利用所述第2群组的处理部而成为了所述第2状态的基板，其中，所述第1群组的处理部包括也属于所述第2群组的处理部的共用处理部和不属于所述第2群组的处理部的独立处理部，所述共用处理部的生产率比所述独立处理部的生产率大。

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