上海新傲科技股份有限公司吴庆东获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新傲科技股份有限公司申请的专利用于承载晶圆的支撑结构及外延生长装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223912850U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520512167.X，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型用于承载晶圆的支撑结构及外延生长装置是由吴庆东;胡平;汪金梅;张昱;诸良;李晓标设计研发完成，并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于承载晶圆的支撑结构及外延生长装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种用于承载晶圆的支撑结构及外延生长装置。所述用于承载晶圆的支撑结构包括：基座，包括相对分布的承载面和背面；旋转轴，连接于基座的背面上；水平调节结构，连接于旋转轴背离基座的一侧，水平调节结构包括定位块、顶块和调节球，定位块的顶面与旋转轴连接，多个调节球环绕定位块的中心对称分布，多个顶块与多个调节球一一对应，顶块包括沿第二方向分布的第一端部和第二端部，顶块的第一端部与定位块连接，第二端部呈弧形，且调节球能够推动与其对应的顶块沿第二方向移动。本实用新型能够提高晶圆表面生长的外延层的厚度均匀性。
本实用新型用于承载晶圆的支撑结构及外延生长装置在权利要求书中公布了：1.一种用于承载晶圆的支撑结构，其特征在于，包括： 基座，包括沿第一方向相对分布的承载面和背面，所述承载面用于承载晶圆； 旋转轴，沿所述第一方向延伸且连接于所述基座的所述背面上； 水平调节结构，沿所述第一方向连接于所述旋转轴背离所述基座的一侧，所述水平调节结构包括定位块、顶块和调节球，所述定位块的顶面与所述旋转轴连接，多个所述调节球环绕所述定位块的中心对称分布，多个所述顶块与多个所述调节球一一对应，所述顶块包括沿第二方向分布的第一端部和第二端部，所述顶块的所述第一端部与所述定位块连接，所述第二端部呈弧形，且所述调节球能够推动与其对应的所述顶块沿所述第二方向移动，所述第二方向与所述第一方向垂直相交。
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