浙江芯动科技有限公司杨志浩获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江芯动科技有限公司申请的专利用于半导体晶圆制造过程中的氧化扩散工艺的挡片舟组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223912847U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520115453.2，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型用于半导体晶圆制造过程中的氧化扩散工艺的挡片舟组件是由杨志浩;刘聪设计研发完成，并于2025-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于半导体晶圆制造过程中的氧化扩散工艺的挡片舟组件在说明书摘要公布了：本实用新型公开了用于半导体晶圆制造过程中的氧化扩散工艺的挡片舟组件，涉及挡片舟技术领域，旨在提供一种安装稳定的挡片舟组件，包括基座和若干挡片，基座上开设有若干插槽，若干挡片分别置于相应的插槽内，挡片与基座之间具有连接组件，连接组件用于连接挡片和基座，挡片置于插槽内时，此时可以通过第一连接件和第二连接件相互卡接配合对挡片进行固定，避免其在气流作用下发生移位或者掉落，挡片始终可以对晶圆进行遮挡保护。
本实用新型用于半导体晶圆制造过程中的氧化扩散工艺的挡片舟组件在权利要求书中公布了：1.用于半导体晶圆制造过程中的氧化扩散工艺的挡片舟组件，其特征是，包括基座1和若干挡片2，基座1上开设有若干插槽101，若干挡片2分别置于相应的插槽101内，挡片2与基座1之间具有连接组件3，连接组件3用于连接挡片2和基座1。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江芯动科技有限公司，其通讯地址为：314006 浙江省嘉兴市南湖区大桥镇汇信路350号2号楼1层101室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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