浙江芯动科技有限公司张义钦获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江芯动科技有限公司申请的专利一种键合载具上的高度调节器获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223912846U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520279095.9,技术领域涉及:H10P72/50;该实用新型一种键合载具上的高度调节器是由张义钦;林海亚;刘聪设计研发完成,并于2025-02-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种键合载具上的高度调节器在说明书摘要公布了:本实用新型属于半导体制造设备领域,尤其涉及一种键合载具上的高度调节器,包括限位杆,限位杆上安装有套筒,限位杆和套筒之间有销轴,通过在限位杆上设置刻度尺,套筒精确的在限位杆上进行移动,使得在键合时根据硅片的厚度来调节套筒的高度,通过销轴将套筒和限位杆固定,进而提高了套筒和限位杆之间的稳固性;与现有技术相比,本实用新型提高键合精准度。
本实用新型一种键合载具上的高度调节器在权利要求书中公布了:1.一种键合载具上的高度调节器,其特征在于,包括限位杆1,限位杆1上设有套筒2,套筒2套于限位杆1外壁上且与限位杆1外壁滑动连接,限位杆1和套筒2之间设有销轴3,销轴3与限位杆1垂直分布,销轴3一端伸入套筒2内与限位杆1外壁插接,限位杆1外壁上设有与限位杆1外壁上的刻度尺4,刻度尺4置于限位杆1和套筒2之间。
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