苏州美图半导体技术有限公司王云翔获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州美图半导体技术有限公司申请的专利晶圆键合定位夹持装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223912845U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423324160.X，技术领域涉及：H10P72/50；该实用新型晶圆键合定位夹持装置是由王云翔;马冬月;段仲伟;姚园设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆键合定位夹持装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆键合定位夹持装置，对待键合晶圆进行双侧或多向夹持限位，包括工作台面，工作台面上设置有：载物台，在工作台面上可转动设置，待键合晶圆置于载物台上，主动推进夹持组件，向晶圆圆心位置往复滑移，对晶圆施加推紧力及弹性补偿力；主动推进夹持组件上成型有容纳槽，或成型有柔性抵触凹面，从动承托夹持组件，位于晶圆背离主动推进夹持组件一侧；单次键合工况中，从动承托夹持组件与工作台的相对位置保持恒定。本实用新型采用带有弧形槽的推杆对晶圆进行推动校准，同时在推杆上增设弹簧，对晶圆轮廓提供定位偏差补偿。
本实用新型晶圆键合定位夹持装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆键合定位夹持装置，其特征在于：对待键合晶圆进行双侧或多向夹持限位，包括工作台面1，工作台面1上设置有： 载物台2，在工作台面1上可转动设置，待键合晶圆置于载物台2上，主动推进夹持组件3，向晶圆圆心位置往复滑移，对晶圆施加推紧力及弹性补偿力；主动推进夹持组件3上成型有容纳槽，或成型有柔性抵触凹面，从动承托夹持组件，位于晶圆背离主动推进夹持组件3一侧；单次键合工况中，从动承托夹持组件与工作台的相对位置保持恒定。
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