苏州美图半导体技术有限公司王云翔获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州美图半导体技术有限公司申请的专利兆声清洗键合设备用对准结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223912844U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423323974.1，技术领域涉及：H10P72/50；该实用新型兆声清洗键合设备用对准结构是由王云翔;马冬月;段仲伟;姚园设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本兆声清洗键合设备用对准结构在说明书摘要公布了：本实用新型的目的是提供一种兆声清洗键合设备用对准结构，利用高精度对准结构，实现两片晶圆在兆声清洗步骤后，满足原位直接键合的定位精度要求并实现原位键合，避免晶圆在清洗后的污染，也极大减少设备的占地空间，提高空间利用率，且减少空间布局成本。对准结构包括可倾斜活动设置的工作台面、位于工作台面上的载物台，在载物台上设置若干定位块，在载物台圆周设置摆动垫片；工作台面背离载物台一侧设置有转动模块、抖动模块、倾斜模块和垫片联动模块，本实用新型利用这些模块实现多个动态动作、从而达到多次找准、高精度对准的目的。
本实用新型兆声清洗键合设备用对准结构在权利要求书中公布了：1.一种兆声清洗键合设备用对准结构，其特征在于：用于兆声清洗机中、清洗工序之后；对准结构包括可倾斜活动设置的工作台面1、位于工作台面1上的载物台2，在载物台2上设置若干定位块202，在载物台2圆周设置摆动垫片3； 所述工作台面1背离载物台2一侧设置有转动模块、抖动模块、倾斜模块和垫片联动模块，所述转动模块包括转动电机4，转动电机4带动载物台2旋转，所述抖动模块包括安装在工作台面1上的振动电机5，振动电机5独立设置，所述倾斜模块采用顶升件6，顶升位置与载物台2偏心设置，所述垫片联动模块包括与摆动垫片3相连的传动轮303、带动其中一个传动轮303的主动电机304、张紧在所有传动轮303上的传动带305。
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