浙江创芯集成电路有限公司王典勇获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利晶圆传送装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223912843U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520435779.3，技术领域涉及：H10P72/30；该实用新型晶圆传送装置是由王典勇;杨波;张严;靳忆帆;楼其村设计研发完成，并于2025-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆传送装置在说明书摘要公布了：一种晶圆传送装置，包括：传送部件，用于传送晶圆；光学发射器，用于发射检测光线，检测光线照射至晶圆的表面并反射；光学接收器，光学发射器和光学接收器设置固定在相同高度，用于接收检测光线；控制器，用于在光学接收器接收到检测光线后，控制传送部件传送晶圆，或者在光学接收器未接收到检测光线后，控制传送部件停止传送晶圆。光学发射器和光学接收器设置在相同的高度，当光学发射器发射的检测光线照射在晶圆表面后，反射的光线未被光学接收器接收，此时则说明晶圆处于倾斜状态，控制器会控制传送部件停止运行，以此防止传送部件在晶圆出现倾斜状态下仍进行抓取动作而导致晶圆或传送部件的损坏，同时还能够减少宕机风险。
本实用新型晶圆传送装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传送装置，其特征在于，包括： 传送部件，用于传送晶圆； 光学发射器，用于发射检测光线，所述检测光线照射至所述晶圆的表面并反射； 光学接收器，所述光学发射器和所述光学接收器设置固定在相同高度，用于接收所述检测光线； 控制器，分别与所述传送部件、所述光学发射器和所述光学接收器通信连接，用于在所述光学接收器接收到所述检测光线后，控制所述传送部件传送所述晶圆，或者在所述光学接收器未接收到所述检测光线后，控制所述传送部件停止传送所述晶圆。
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