芜湖立德智兴半导体有限公司秦川获国家专利权
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龙图腾网获悉芜湖立德智兴半导体有限公司申请的专利一种晶片AOI膜对膜排片设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223912842U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520345284.1,技术领域涉及:H10P72/30;该实用新型一种晶片AOI膜对膜排片设备是由秦川;葛时建;李元雄;蒙国荪设计研发完成,并于2025-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶片AOI膜对膜排片设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种晶片AOI膜对膜排片设备,包括:排片模块,包括挑拣装置、竖向设置的至少一个主承载盘和竖向设置的至少两个副承载盘,主承载盘用于承载待处理晶片,两个副承载盘分别承载合格品空膜片和不合格品空膜片;检测模块,围绕挑拣装置依次设置有旋转校正单元、五面外观检测单元、隐裂检测单元和正面外观检测单元,用于对待处理晶片上的晶粒进行六面及内部检测;挑拣装置从待处理晶片上获取晶粒,通过检测模块的检测,将同一等级的晶粒放置在同一合格品空膜片上,将不合格的晶粒放置在不合格品空膜片上。该设备集成了先进的AOI检测系统,能够对晶片的正面、背面及四个侧面进行全面检测,并配备IR隐裂检测单元,以检测晶片内部的隐裂情况。
本实用新型一种晶片AOI膜对膜排片设备在权利要求书中公布了:1.一种晶片AOI膜对膜排片设备,其特征在于,包括: 排片模块4,包括挑拣装置401、竖向设置的至少一个主承载盘402和竖向设置的至少两个副承载盘403,所述主承载盘402用于承载待处理晶片,两个所述副承载盘403分别承载合格品空膜片和不合格品空膜片; 检测模块3,围绕所述挑拣装置401依次设置有旋转校正单元301、五面外观检测单元302、隐裂检测单元303和正面外观检测单元304,用于对所述待处理晶片上的晶粒进行六面及内部检测; 所述挑拣装置401从所述待处理晶片上获取晶粒,通过所述检测模块3的检测,将同一等级的晶粒放置在同一所述合格品空膜片上,将不合格的晶粒放置在所述不合格品空膜片上。
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