麦斯克电子材料股份有限公司贾波获国家专利权
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龙图腾网获悉麦斯克电子材料股份有限公司申请的专利一种用于晶圆清洗机的湿法片盒转运机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223912841U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520296519.2，技术领域涉及：H10P72/30；该实用新型一种用于晶圆清洗机的湿法片盒转运机构是由贾波;郭光灿;苗亚龙;楚浩杰设计研发完成，并于2025-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆清洗机的湿法片盒转运机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种用于晶圆清洗机的湿法片盒转运机构，旨在解决现有技术中晶圆盒转运过程中不稳定、易晃动及夹紧效果不佳的问题。该机构包括主体结构和晶圆盒，主体结构由横臂、支撑杆、底座、固定板、电动推杆、导向柱及夹持机构组成。夹持机构包括升降板、伺服电机、双头丝杆、夹紧提升架、限位导轨和移动横杆。电动推杆通过导向柱带动升降板上下移动，确保提升过程稳定，避免晶圆盒晃动。夹紧提升架通过双头丝杆和限位导轨实现精确夹紧，晶圆盒两侧设有限位杆，进一步增强夹紧效果。本实用新型通过优化结构设计，提升了晶圆盒转运的稳定性和安全性，降低了晶圆盒掉落的风险。
本实用新型一种用于晶圆清洗机的湿法片盒转运机构在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆清洗机的湿法片盒转运机构，包括主体结构以及晶圆盒10，其特征在于，所述主体结构包括横臂2，所述横臂2一端通过支撑杆1与底座3固定连接，另一端下表面设有固定板7，所述固定板7下方设有夹持机构，设置在横臂2上方的电动推杆4的伸缩端穿过横臂2及固定板7与所述夹持机构相连接，所述固定板7上还设有若干组用于增加夹持机构稳定性的导向柱5，所述导向柱5穿过固定板7与所述夹持机构相连接。
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