江苏海德半导体有限公司杨吉明获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏海德半导体有限公司申请的专利一种晶圆台自动换膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223912834U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520435252.0，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种晶圆台自动换膜装置是由杨吉明;孙杰;侯立磊;王建峰;芮聪设计研发完成，并于2025-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆台自动换膜装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆台自动换膜装置，属于换膜技术领域，包括安装座，所述安装座的一侧设置有抓料结构，所述抓料结构用于将芯片膜移动至安装座，所述安装座上设置有固定结构，所述固定结构用于将放置在安装座上的芯片膜实现固定；所述固定结构包括夹持杆和推动组件，所述夹持杆通过销轴与安装座转动连接，所述安装座的顶部设置有环形的凸缘，所述凸缘的一侧开口，所述夹持杆位于开口处，所述夹持杆通过弹性件与安装座连接，所述推动组件用于推动夹持杆绕着销轴转动。本实用新型通过机械臂和吸盘实现芯片膜的移动，同时，通过气缸控制夹持杆转动，实现芯片膜的自动夹持固定，即实现了自动换膜，提高了换膜效率。
本实用新型一种晶圆台自动换膜装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆台自动换膜装置，包括安装座1，其特征在于：所述安装座1的一侧设置有抓料结构，所述抓料结构用于将芯片膜13移动至安装座1，所述安装座1上设置有固定结构，所述固定结构用于将放置在安装座1上的芯片膜13实现固定； 所述固定结构包括夹持杆5和推动组件，所述夹持杆5通过销轴6与安装座1转动连接，所述安装座1的顶部设置有环形的凸缘7，所述凸缘7的一侧开口8，所述夹持杆5位于开口8处，所述夹持杆5通过弹性件与安装座1连接，所述推动组件用于推动夹持杆5绕着销轴6转动。
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