浙江创芯集成电路有限公司李光照获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利CMP机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223912833U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520432980.6，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型CMP机台是由李光照设计研发完成，并于2025-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本CMP机台在说明书摘要公布了：一种CMP机台，包括：台面；置于所述台面上的机台主体和机台罩、以及置于所述机台罩内侧的若干喷头，所述机台罩围设在所述机台主体周围，所述机台罩具有机台门，所述机台门可绕其门轴向外打开，若干所述喷头用于向所述机台门喷水形成水帘；置于所述机台罩内侧的距离传感器，所述距离传感器用于实时测量所述距离传感器与所述机台门的距离；控制系统，所述控制系统用于根据所述距离的变化值，控制使若干所述喷头停止喷水，在提高产品质量的同时，提高设备安全性，降低意外产生的概率。
本实用新型CMP机台在权利要求书中公布了：1.一种CMP机台，其特征在于，包括： 台面； 置于所述台面上的机台主体和机台罩、以及置于所述机台罩内侧的若干喷头，所述机台罩围设在所述机台主体周围，所述机台罩具有机台门，所述机台门可绕其门轴向外打开，若干所述喷头用于向所述机台门喷水形成水帘； 置于所述机台罩内侧的距离传感器，所述距离传感器用于实时测量所述距离传感器与所述机台门的距离； 控制系统，所述控制系统用于根据所述距离的变化值，控制使若干所述喷头停止喷水。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江创芯集成电路有限公司，其通讯地址为：311200 浙江省杭州市萧山区宁围街道平澜路2118号浙江大学杭州国际科创中心水博园区11幢4层-5层(自主申报)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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