柯尔微电子装备(厦门)有限公司赵明明获国家专利权
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龙图腾网获悉柯尔微电子装备(厦门)有限公司申请的专利一种晶圆贴膜载台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223912830U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520325251.0，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种晶圆贴膜载台是由赵明明;郑隆结;孙会民设计研发完成，并于2025-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆贴膜载台在说明书摘要公布了：本申请提出了一种晶圆贴膜载台，包括：基板，基板X轴方向上设置有滑轨；承载台，承载台可滑动的设置于滑轨上方；承载板，承载板通过设置在承载台上的支撑柱固定；鼓风机，鼓风机设置于基板下方，且鼓风机中心点与承载板中心点位于同一轴线；真空组件，设置于承载台上；其中，鼓风机一端抵近承载板，且鼓风机产生的气体流量大于真空组件产生的气体流量。通过鼓风机与真空组件相配合，可针对不同翘曲度的晶圆，使得晶圆更好的贴附在载台上。
本实用新型一种晶圆贴膜载台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆贴膜载台，其特征在于，包括： 基板，所述基板X轴方向上设置有滑轨； 承载台，所述承载台可滑动的设置于所述滑轨上方； 承载板，所述承载板通过设置在所述承载台上的支撑柱固定； 鼓风机，所述鼓风机设置于所述基板下方，且所述鼓风机中心点与所述承载板中心点位于同一轴线； 真空组件，设置于所述承载台上； 其中，所述鼓风机一端抵近所述承载板，且所述鼓风机产生的气体流量大于所述真空组件产生的气体流量。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人柯尔微电子装备(厦门)有限公司，其通讯地址为：361000 福建省厦门市翔安区厦门火炬高新区(翔安)产业区洪垵路670号一层一单元；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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