麦斯克电子材料股份有限公司王海君获国家专利权
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龙图腾网获悉麦斯克电子材料股份有限公司申请的专利一种晶圆离心甩干用减晃组件获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223912826U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422996274.2,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型一种晶圆离心甩干用减晃组件是由王海君;韩天浩;时中洋;王继国设计研发完成,并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆离心甩干用减晃组件在说明书摘要公布了:一种晶圆离心甩干用减晃组件,包括安装框、调整卡框以及多根固定插杆,安装框包括平行设置的固定底板和安装顶板,固定底板与安装顶板之间通过三块侧板连接合围形成用于放置大规格晶圆片盒的大容纳腔;安装顶板与固定底板上均对应开设有供固定插杆穿过的安装孔;调整卡框用于配合安装在安装顶板上以调整大容纳腔的容积,调整卡框包括上安装侧板和下调整侧板,上安装侧板与下调整侧板相互平行并通过连接板连接;上安装侧板上开设有用于与安装孔对齐的插孔,固定插杆穿过插孔与安装孔后其与固定底板、下调整侧板之间合围形成用于放置相对小规格晶圆片盒的小容纳腔。本实用新型能够适用多种规格晶圆片盒的容纳安装并能减少晶圆片盒的晃动。
本实用新型一种晶圆离心甩干用减晃组件在权利要求书中公布了:1.一种晶圆离心甩干用减晃组件,其特征在于:包括安装框1、调整卡框2以及多根固定插杆3,安装框1包括平行设置的固定底板101和安装顶板103,固定底板101与安装顶板103之间通过三块侧板102连接合围形成用于放置大规格晶圆片盒的大容纳腔4;安装顶板103与固定底板101上均对应开设有供固定插杆3穿过的安装孔1032; 调整卡框2用于配合安装在安装顶板103上以调整大容纳腔4的容积,调整卡框2包括上安装侧板201和下调整侧板203,上安装侧板201与下调整侧板203相互平行并通过连接板202连接;上安装侧板201上开设有用于与安装孔1032对齐的插孔2011,固定插杆3穿过插孔2011与安装孔1032后其与固定底板101、下调整侧板203之间合围形成用于放置相对小规格晶圆片盒的小容纳腔5。
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