绥化市天晶光电显示有限公司刘世红获国家专利权
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龙图腾网获悉绥化市天晶光电显示有限公司申请的专利一种匀胶显影机的显影液喷洒装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223911166U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520626860.X,技术领域涉及:G03F7/30;该实用新型一种匀胶显影机的显影液喷洒装置是由刘世红;周项伟设计研发完成,并于2025-04-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种匀胶显影机的显影液喷洒装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种匀胶显影机的显影液喷洒装置,属于匀胶显影机技术领域,包括底板,所述底板的顶面固定连接有多个立柱,多个所述立柱的顶端固定连接有工作台,所述工作台的中部转动连接有转动管,所述转动管的顶端延伸至工作台的顶部且固定连接有转动盒。本实用新型中,通过第二电机带动第一齿轮间歇转动,利用第一齿轮和第二齿轮之间的啮合传动带动转动管、转动盒间歇转动,另外间歇把晶圆放置到内支撑环形柱上,利用内支撑环形柱对晶圆进行支撑,使晶圆间歇移动到扫描式喷洒嘴的下方进行喷洒显影液,实现了连续对晶圆进行喷洒的功能。
本实用新型一种匀胶显影机的显影液喷洒装置在权利要求书中公布了:1.一种匀胶显影机的显影液喷洒装置,包括底板1,其特征在于:所述底板1的顶面固定连接有多个立柱2,多个所述立柱2的顶端固定连接有工作台3,所述工作台3的中部转动连接有转动管4,所述转动管4的顶端延伸至工作台3的顶部且固定连接有转动盒5,所述转动盒5的内腔设置有两组外限位环形柱7,所述转动盒5的内腔设置有两组内支撑环形柱8,所述底板1的顶部设置有供液机构16,所述工作台3的底部设置有驱动机构17,所述工作台3的顶部且位于转动盒5的上方固定连接有防护箱9,所述防护箱9的内壁固定连接有两个支撑座10,两个所述支撑座10之间转动连接有往复丝杆11,两个所述支撑座10之间固定套接有滑杆12,所述往复丝杆11的外侧螺纹套接有移动座13,所述移动座13和滑杆12活动套接,一个所述支撑座10的内部设置有第一电机15,所述第一电机15的输出轴和往复丝杆11的端部相连接,所述移动座13的底面固定连接有扫描式喷洒嘴14。
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