中山芯承半导体有限公司刘树文获国家专利权
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龙图腾网获悉中山芯承半导体有限公司申请的专利一种平衡千级间内外气压的防卡板设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223911165U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520209784.2，技术领域涉及：G03F7/30；该实用新型一种平衡千级间内外气压的防卡板设备是由刘树文;高伟;蔡琨辰设计研发完成，并于2025-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种平衡千级间内外气压的防卡板设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种平衡千级间内外气压的防卡板设备，旨在解决图形生产过程中因气压差异导致的薄板翘起和卡板问题。设备包括铜厚测量装置、风切装置、信号传送器、传送带和压力传感器。铜厚测量装置采用非接触式传感器测量待加工板的厚度，并将数据转换为电信号发送至风切装置的控制系统。控制系统根据接收到的厚度数据智能判断是否需要启动风切装置，以平衡气压并防止薄板被吹起。信号传送器采用高速、低延迟的通信协议确保数据传输的实时性和可靠性。同时，压力传感器实时监测两个区域之间的气压差异，为控制系统提供调整风切装置工作状态的辅助依据。本设备有效提升了生产稳定性、工作效率和节能环保性能，降低了生产成本和运行成本。
本实用新型一种平衡千级间内外气压的防卡板设备在权利要求书中公布了：1.一种平衡千级间内外气压的防卡板设备，其特征在于，包括： 铜厚测量装置1，设置于千级间一侧，用于测量进入其下方区域的待加工板的厚度，并将测得的厚度数据转换为电信号； 风切装置2，设置于十万级间一侧，用于根据铜厚测量装置1测得的厚度进行启动或调节气压； 信号传送器3，设置于千级间与十万级间之间，用于接收所述铜厚测量装置1测得的厚度数据并发送至所述风切装置2；所述风切装置2通过信号传送器3获取所述铜厚测量装置1测得的厚度数据，并用于根据接收到的厚度数据电信号来调整工作状态。
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