荣芯半导体(宁波)有限公司张海陆获国家专利权
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龙图腾网获悉荣芯半导体(宁波)有限公司申请的专利显影装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223911164U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423175596.7，技术领域涉及：G03F7/30；该实用新型显影装置是由张海陆;于浩设计研发完成，并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本显影装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种显影装置，包括吸附组件和振动部，所述吸附组件用于吸附并承载晶圆，所述振动部与所述吸附组件连接，所述振动部用于驱动所述晶圆振动，以使所述晶圆上的显影液在所述晶圆表面扩散。该显影装置可通过振动部使晶圆产生震动，加速显影液在晶圆表面的扩散和反应，防止通过电机急速旋转辅助显影液扩散造成电机的损伤，满足显影工艺需求，提高制成的稳定性与可控性。
本实用新型显影装置在权利要求书中公布了：1.一种显影装置，其特征在于，包括吸附组件和振动部，所述吸附组件用于吸附并承载晶圆，所述振动部与所述吸附组件连接，所述振动部用于驱动所述晶圆振动，以使所述晶圆上的显影液在所述晶圆表面扩散； 所述振动部为微型振动马达，所述微型振动马达固定在所述吸附组件上，并用于驱动所述晶圆在水平方向上移动；所述微型振动马达的上表面或下表面贴靠所述晶圆。
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