苏州中特微电子科技有限公司傅舰艇获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州中特微电子科技有限公司申请的专利一种晶片粗对位装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223911163U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520662816.4，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种晶片粗对位装置是由傅舰艇;林世超设计研发完成，并于2025-04-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶片粗对位装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶片粗对位装置，其包括工作台，工作台上设置有第一滑台，第一滑台上设置有第二滑台，第一滑台和第二滑台的滑动方向相互垂直；第二滑台的上端设置有转台，转台沿水平方向转动，转台的上端设置有固定晶片的固定模组；第二滑台上通过立柱数据传输组件设置有线阵激光传感器组，线阵激光传感器组的接收端位于晶片的下方、发射端位于晶片的上方，且发射端发出的激光束沿晶片的径向分布。本实用新型利用线阵激光传感器组来检测晶片的缺口或切边，可实现快速的检测，检测精度高；可以有效提升粗对位的效率，进而提升光刻机对晶片的加工效率。
本实用新型一种晶片粗对位装置在权利要求书中公布了：1.一种晶片粗对位装置，其特征在于，包括工作台，所述工作台上设置有第一滑台，所述第一滑台上设置有第二滑台，所述第一滑台和第二滑台的滑动方向相互垂直；所述第二滑台的上端设置有转台，所述转台沿水平方向转动，所述转台的上端设置有固定晶片的固定模组；所述第二滑台上通过立柱数据传输组件设置有线阵激光传感器组，所述线阵激光传感器组的接收端位于晶片的下方、发射端位于晶片的上方，且发射端发出的激光束沿晶片的径向分布。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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