合肥芯碁微电子装备股份有限公司李辉获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请的专利运动曝光工作台及具有其的曝光系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223911162U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520160598.4，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型运动曝光工作台及具有其的曝光系统是由李辉设计研发完成，并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本运动曝光工作台及具有其的曝光系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种运动曝光工作台及具有其的曝光系统，运动曝光工作台包括安装座、升降组件、第一运动组件、第二运动组件和曝光组件，第二运动组件设于第一运动组件，第二运动组件的沿第二方向移动，第一方向和第二方向均在水平方向内，且第一方向与第二方向相互垂直；其中，第二运动组件上还设有传感器，传感器用于检测基板位置。通过设有传感器以检测基板位置，以根据基板位置以去驱动第一运动组件和第二运动组件调整曝光组件的位置，以让曝光组件能够更好地将曝光效果作用到基板上，从而让曝光组件能够按照设计将曝光效果作用到基板上以进行曝光，且在使用过程中可以根据生产过程进行调整，以让曝光组件的使用具有更高的精度。
本实用新型运动曝光工作台及具有其的曝光系统在权利要求书中公布了：1.一种运动曝光工作台，其特征在于，包括： 安装座，所述安装座的中部设有工作台，所述工作台用于承载基板； 升降组件，所述升降组件设于所述安装座，且所述升降组件的输出端与所述工作台连接，所述升降组件用于调整所述工作台的垂直高度； 第一运动组件，所述第一运动组件设于所述安装座上，且所述第一运动组件与所述升降组件间隔设置，所述第一运动组件沿第一方向移动； 第二运动组件，所述第二运动组件设于所述第一运动组件，所述第二运动组件的沿第二方向移动，所述第一方向和所述第二方向均在水平方向内，且所述第一方向与所述第二方向相互垂直； 曝光组件，所述曝光组件设于所述第二运动组件的上侧，且所述曝光组件与所述工作台的至少部分相对设置，所述曝光组件用于对所述基板进行曝光； 其中，所述第二运动组件上还设有传感器，所述传感器用于检测所述基板位置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥芯碁微电子装备股份有限公司，其通讯地址为：230088 安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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