湖北星辰技术有限公司杨豪获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北星辰技术有限公司申请的专利一种原子力显微镜获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223910945U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520132950.3，技术领域涉及：G01Q60/24；该实用新型一种原子力显微镜是由杨豪设计研发完成，并于2025-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种原子力显微镜在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体检测技术领域，具体涉及一种原子力显微镜，包括载物组件、激光器、位置探测器以及驱动组件；所述激光器设置在载物组件上，所述位置探测器设置在载物组件一侧并接收所述激光器投射光线得到所述激光器的初始高度位置；所述载物组件受驱沿直线靠近或远离所述位置探测器，所述位置探测器检测到所述激光器的高度位置变化时，所述驱动组件驱动载物组件移动以使所述激光器到达初始高度位置。本申请能够补偿因载物台不平整产生的测量误差，有效提升晶圆表面形貌的测量精度。
本实用新型一种原子力显微镜在权利要求书中公布了：1.一种原子力显微镜，其特征在于，包括载物组件100、激光器101、位置探测器102以及驱动组件103；所述激光器101设置在载物组件100上，所述位置探测器102设置在载物组件100一侧并接收所述激光器101投射光线104得到所述激光器101的初始高度位置；所述载物组件100受驱沿直线靠近或远离所述位置探测器102，所述位置探测器102检测到所述激光器101的高度位置变化时，所述驱动组件103驱动载物组件100移动以使所述激光器101到达初始高度位置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人湖北星辰技术有限公司，其通讯地址为：430205 湖北省武汉市东湖新技术开发区流芳园横路12号汇成工业科创园2号楼11F(自贸区片区)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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