东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司赵文成获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利光阑调节装置及半导体检测设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223910829U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423268809.0,技术领域涉及:G01N23/2251;该实用新型光阑调节装置及半导体检测设备是由赵文成;李帅辰设计研发完成,并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本光阑调节装置及半导体检测设备在说明书摘要公布了:本申请公开了一种光阑调节装置及半导体检测设备,光阑调节装置包括移动组件、转动组件和调节件;所述移动组件包括基座、滑块和线性驱动件,所述滑块安装在所述基座上,并沿滑动方向与所述基座滑动配合,所述线性驱动件连接所述基座和所述滑块;所述转动组件包括转动架和回转驱动件,所述转动架安装在所述滑块上,并在所述滑动方向上与光阑片相连,所述转动架绕转动轴线与所述滑块转动配合,所述转动轴线与所述滑动方向相交设置,所述回转驱动件安装在所述基座上且与所述转动架可分离式设置;所述调节件弹性连接所述转动架与所述滑块。调节件可以提高重复定位精度;回转驱动件与转动架可分离,移动组件和转动组件可对光阑片独立调节,调节精度高。
本实用新型光阑调节装置及半导体检测设备在权利要求书中公布了:1.一种光阑调节装置,其特征在于,包括: 移动组件1,包括基座11、滑块12和线性驱动件13,所述滑块12安装在所述基座11上,并沿滑动方向与所述基座11滑动配合,所述线性驱动件13与所述基座11和所述滑块12相连,用于驱动所述滑块12沿所述滑动方向滑动; 转动组件2,包括转动架21和回转驱动件22,所述转动架21安装在所述滑块12上,并在所述滑动方向上与光阑片5相连,所述转动架21绕转动轴线与所述滑块12转动配合,所述转动轴线与所述滑动方向相交设置,所述回转驱动件22安装在所述基座11上且与所述转动架21可分离式设置,用于推动所述转动架21转动; 调节件3,弹性连接于所述转动架21与所述滑块12之间,用于在所述回转驱动件22推动所述转动架21转动时提供反向力以及在所述回转驱动件22与所述转动架21分离时将所述转动架21与所述滑块12维持于初始角度。
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