东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司张立杰获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利光阑调节装置及半导体检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223910828U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423259164.4，技术领域涉及：G01N23/2251；该实用新型光阑调节装置及半导体检测设备是由张立杰设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本光阑调节装置及半导体检测设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种光阑调节装置及半导体检测设备，该光阑调节装置包括多级位移调节单元、多级偏移调节单元和转接座；所述位移调节单元包括相互固定连接的位移座和位移驱动件，相邻两级所述位移调节单元传动配合；所述偏移调节单元包括相互固定连接的偏移座和偏移驱动件，相邻两级所述偏移调节单元传动配合；所述转接座在第一方向与末级所述位移调节单元传动配合，在第二方向与首级所述偏移调节单元传动配合，所述第一方向为所述光阑调节装置的长度方向，所述第二方向与所述第一方向相交设置。光阑调节装置可以在两个方向上均对光阑片进行多级线性位移调节，从而提高对光阑片的调节精度，减小光阑孔与电子束流的同心度误差，保证检测时的成像质量。
本实用新型光阑调节装置及半导体检测设备在权利要求书中公布了：1.一种光阑调节装置，其特征在于，包括： 多级位移调节单元，所述位移调节单元包括相互固定连接的位移座1和位移驱动件2，相邻两级所述位移调节单元中上一级所述位移驱动件2传动连接下一级所述位移座1，且下一级所述位移座1与上一级所述位移座1滑动连接； 多级偏移调节单元，所述偏移调节单元包括相互固定连接的偏移座3和偏移驱动件4，相邻两级所述偏移调节单元中下一级所述偏移驱动件4传动连接上一级所述偏移座3，且下一级所述偏移座3与上一级所述偏移座3滑动连接； 转接座5，在第一方向X与末级所述位移调节单元的所述位移座1滑动连接且与其所述位移驱动件2传动连接，在第二方向Y与首级所述偏移调节单元的所述偏移座3滑动连接且与其所述偏移驱动件4传动连接，所述第一方向X为所述光阑调节装置的长度方向，所述第二方向Y与所述第一方向X相交设置。
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