安徽芯动联科微系统股份有限公司;北京芯动致远微电子技术有限公司毛德丰获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽芯动联科微系统股份有限公司;北京芯动致远微电子技术有限公司申请的专利一种基于MEMS原理的六维力传感器器件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223910392U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520859515.0，技术领域涉及：G01L5/161；该实用新型一种基于MEMS原理的六维力传感器器件是由毛德丰;张龙海设计研发完成，并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于MEMS原理的六维力传感器器件在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种基于MEMS原理的六维力传感器器件，包括MEMS六维力传感器、集成ASIC芯片的PCB板、力传导柱、防拆解支撑结构和封装结构，其中MEMS六维力传感器由MEMS工艺在硅基底上制备，不需要钢体结构，可以有效改善人工贴装应变片导致的误差及低效率，降低器件重量和制备成本。力传导柱将外部力力矩传递给MEMS六维力传感器，MEMS六维力传感器测量外部力力矩，并将其转换为模拟电信号，PCB板对模拟电信号进行放大、滤波、解调、解耦、校准、ADDA转换等处理，以数字信号的形式输出测试结果；防拆解支撑结构一方面支撑封装结构，隔离封装结构和MEMS六维力传感器，另一方面防止MEMS六维力传感器非法拆解，使整个器件正常工作。
本实用新型一种基于MEMS原理的六维力传感器器件在权利要求书中公布了：1.一种基于MEMS原理的六维力传感器器件，其特征在于，包括： MEMS六维力传感器，利用MEMS工艺在硅基底上制备，用于测量外部X、Y、Z三个轴上的力和力矩信号，并将其转换为模拟电信号； 集成有ASIC芯片和外围电子元件的PCB板，所述的MEMS六维力传感器通过传感器焊盘与PCB板连接，用于对MEMS六维力传感器输出的模拟电信号进行放大、滤波、解调、解耦、校准及ADDA转换，并输出数字信号； 力传导柱，与MEMS六维力传感器的阳极键合或焊接连接，用于将外部力或力矩传递给MEMS六维力传感器； 防拆解支撑结构，与PCB板牢固连接，所述的MEMS六维力传感器被隔离在防拆解支撑结构内，防止MEMS六维力传感器非法拆解； 封装结构，与力传导柱紧密贴合，用于与外部力接触并将外部力传导到力传导柱上，同时保护力传导柱并缓冲外部载荷。
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