上海恒清申聚科技有限公司罗亮获国家专利权
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龙图腾网获悉上海恒清申聚科技有限公司申请的专利一种高精度、低功耗的电容式MEMS轮胎压力传感器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223910379U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520199754.8，技术领域涉及：G01L1/14；该实用新型一种高精度、低功耗的电容式MEMS轮胎压力传感器是由罗亮;惠耀萱;罗杰设计研发完成，并于2025-02-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高精度、低功耗的电容式MEMS轮胎压力传感器在说明书摘要公布了：本实用新型涉及压力传感器技术领域，公开了一种高精度、低功耗的电容式MEMS轮胎压力传感器，包括硅基板，作为传感器的底部电极；硅薄膜，作为压力传感元件，通过硅‑硅直接键合工艺与硅基板结合；真空腔，位于硅薄膜与硅基板之间，用于检测压力变化；上电极，位于硅薄膜的上方，用于与硅基板形成电容结构；绝缘层，位于上电极与硅薄膜之间，防止欧姆接触；电容检测电路，用于检测电容变化并输出压力信号。本申请特别适合低功耗系统，因为其测量原理节能，与不需要直流电流偏置的电阻式压力传感器相比，在精度、能效和噪声降低方面有显著改进。
本实用新型一种高精度、低功耗的电容式MEMS轮胎压力传感器在权利要求书中公布了：1.一种高精度、低功耗的电容式MEMS轮胎压力传感器，其特征在于，包括： 硅基板，作为传感器的底部电极； 硅薄膜，作为压力传感元件，通过硅‑硅直接键合工艺与硅基板结合； 真空腔，位于硅薄膜与硅基板之间，用于检测压力变化； 上电极，位于硅薄膜的上方，用于与硅基板形成电容结构； 绝缘层，位于上电极与硅薄膜之间，防止欧姆接触； 电容检测电路，用于检测电容变化并输出压力信号。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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