江苏睿途精密工业有限公司王浩获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏睿途精密工业有限公司申请的专利一种晶圆测厚系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223910251U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520711445.4，技术领域涉及：G01B21/08；该实用新型一种晶圆测厚系统是由王浩;陈建坤;柴烨;丁茂设计研发完成，并于2025-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆测厚系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆测厚技术领域，具体为一种晶圆测厚系统，包括底板和安装在其上面的测量单元和测试平台，测试平台用于放置晶圆，能够沿横向和纵向移动，测量单元位于测试平台一侧，测试平台另一侧设置有顶出组件；顶出组件包括升降机构及其顶部可拆卸连接的承托板，其上可拆卸设置有若干个顶针，用于顶出晶圆；承托板沿长度方向分为连接部、第一承托部、避让部和第二承托部；连接部用于连接升降机构，避让部两端相对第一承托部和第二承托部形成避让槽；避让部和第二承托部上开设若干组连接孔组，用于安装顶针，每组连接孔组至少包含三个连接孔，其中两个位于第二承托部上，一个位于避让部上。本实用新型适配度强，效率高。
本实用新型一种晶圆测厚系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆测厚系统，包括底板4和安装在其上面的测量单元1和测试平台2，测试平台2用于放置晶圆，能够沿横向和纵向移动，测量单元1位于测试平台2一侧，其特征在于，测试平台2另一侧设置有顶出组件3； 所述顶出组件3包括升降机构31及其顶部可拆卸连接的承托板32，所述承托板32水平朝向测试平台2一端设置，其上可拆卸设置有若干个顶针33，用于顶出晶圆； 所述承托板32沿长度方向分为连接部321、第一承托部322、避让部323和第二承托部324； 所述连接部321用于连接升降机构31，避让部323两端相对第一承托部322和第二承托部324形成避让槽； 所述避让部323和第二承托部324上开设若干组连接孔组，用于安装顶针33，每组连接孔组至少包含三个连接孔，其中两个位于第二承托部324上，一个位于避让部323上。
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