北京京仪自动化装备技术股份有限公司李阳获国家专利权
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龙图腾网获悉北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请的专利一种半导体制程废气处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223909542U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422730880.X，技术领域涉及：F23G7/06；该实用新型一种半导体制程废气处理装置是由李阳设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体制程废气处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型一种半导体制程废气处理装置，包括燃烧器、火焰发生装置、第一进气装置、吹扫装置和第二进气装置；燃烧器设置有燃烧腔，第一进气装置和吹扫装置设置在燃烧器两侧，第一进气装置向燃烧腔输入废气，吹扫装置吹向输入燃烧器内部的废气，第二进气装置设置在燃烧器上向燃烧腔输入空气；火焰发生装置设置在燃烧器上，第一进气装置的第一出气口朝向火焰发生装置的火焰的高温区倾斜设置。本申请的半导体制程废气处理装置通过改变目前机台的进气方向，由侧入式改为偏入式，即通过第一进气装置输入的废气对准火焰的中下部，即火焰的高温区，使得输入的废气与火焰的高温区直接接触，不仅能够保证废气的充分燃烧，也能提高机台的废气处理效率。
本实用新型一种半导体制程废气处理装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体制程废气处理装置，其特征在于，包括燃烧器、火焰发生装置、第一进气装置、吹扫装置和第二进气装置；所述燃烧器的内部设置有燃烧腔，所述第一进气装置和所述吹扫装置分别相对设置在所述燃烧器的两侧，且所述第一进气装置用于向所述燃烧腔的内部输入废气，所述吹扫装置用于吹向输入所述燃烧器内部的废气以去除所述废气携带的粉末，所述第二进气装置设置在所述燃烧器上且用于向所述燃烧腔的内部输入空气；所述火焰发生装置设置在所述燃烧器上用于点燃所述燃烧腔内部的废气，且所述第一进气装置的第一出气口朝向所述火焰发生装置的火焰的高温区倾斜设置。
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