天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体科技股份有限公司李彪获国家专利权
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龙图腾网获悉天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体科技股份有限公司申请的专利一种外延尾气体处理用稳压结构、生产设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223909088U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520771052.2，技术领域涉及：F16L41/03；该实用新型一种外延尾气体处理用稳压结构、生产设备是由李彪;王福兴;张剑海;张磊;王帅设计研发完成，并于2025-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种外延尾气体处理用稳压结构、生产设备在说明书摘要公布了：一种外延尾气体处理用稳压结构、生产设备，包括用于尾气处理的主管道、若干用于气体吹扫的副管道、以及若干用于气体引流的支管道，其中一个所述副管道直接与所述主管道连通，其他所述副管道和所述支管道均通过所述辅助管与所述主管道连通，且所有所述副管道和所述支管相互异位配置；沿所述主管道气流流通方向，所有所述副管道相对于所述主管道均倾斜设置，并所有所述支管道相对于所述主管道均并行设置。本申请结构简单且压力稳定，可有效防止尾气在主管道中结晶和积液，防止堵塞；同时还可减少工艺腔体颗粒的生成，提高外延片的产品质量，提升合格率；亦可支持大流量气体快速切换，减少工艺时间，降低能源消耗，节能高效。
本实用新型一种外延尾气体处理用稳压结构、生产设备在权利要求书中公布了：1.一种外延尾气体处理用稳压结构，其特征在于，包括用于尾气处理的主管道、若干用于气体吹扫的副管道、以及若干用于气体引流的支管道，其中一个所述副管道直接与所述主管道连通，其他所述副管道和所述支管道均通过辅助管与所述主管道连通，且所有所述副管道和所述支管相互异位配置； 沿所述主管道气流流通方向，所有所述副管道相对于所述主管道均倾斜设置，并所有所述支管道相对于所述主管道均并行设置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体科技股份有限公司，其通讯地址为：300384 天津市滨海新区高新区华苑产业区(环外)海泰东路12号内；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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