上海汇芯拓半导体技术有限公司刘震峰获国家专利权
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龙图腾网获悉上海汇芯拓半导体技术有限公司申请的专利真空传输阀的加热线连接结构及半导体设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223908972U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202620039966.4,技术领域涉及:F16K49/00;该实用新型真空传输阀的加热线连接结构及半导体设备是由刘震峰设计研发完成,并于2026-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空传输阀的加热线连接结构及半导体设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种真空传输阀的加热线连接结构及半导体设备,真空传输阀包括内设有加热棒的阀板和驱动阀板运动的驱动轴,加热线连接结构包括包括第一接插件和第二接插件,第一接插件设置于阀板上,第一接插件与加热棒电连接,第二接插件设置于驱动轴上,第二接插件用于与外部电源连接,阀板与驱动轴的装配结合处形成有容纳腔,该加热线连接结构的电气连接点内置于第一接插件和第二接插件内部,彻底避免了外部振动、磕碰和应力直接作用在电气连接点上,节省了真空传输阀在轴向和径向的安装空间,适应半导体设备紧凑化设计,电气连接点与外部恶劣的工艺环境物理隔离,降低了电气安全风险。
本实用新型真空传输阀的加热线连接结构及半导体设备在权利要求书中公布了:1.一种真空传输阀的加热线连接结构,所述真空传输阀包括内设有加热棒的阀板和驱动阀板运动的驱动轴,其特征在于,所述加热线连接结构包括: 第一接插件,设置于所述阀板上,所述第一接插件与所述加热棒电连接; 第二接插件,设置于所述驱动轴上,所述第二接插件用于与外部电源连接; 其中,所述阀板与所述驱动轴的装配结合处形成有容纳腔,所述第一接插件与所述第二接插件容纳于所述容纳腔内并构成可插拔的电连接。
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