青岛思锐智能科技股份有限公司彭奕博获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛思锐智能科技股份有限公司申请的专利一种传输晶圆的真空机械手运动装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223899669U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520503609.4，技术领域涉及：H10P72/30；该实用新型一种传输晶圆的真空机械手运动装置是由彭奕博;伊明辉;张昊;高富来;杨永雷;刘连瑞;李英万设计研发完成，并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种传输晶圆的真空机械手运动装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种传输晶圆的真空机械手运动装置，包括驱动件和真空腔室；真空腔室的外壁上开设有真空管路安装预留孔和氮气管路安装预留孔，顶部铰接有用于打开或关闭真空腔室的第一腔盖；真空腔室内设置有传动组件和滑轨支撑座，滑轨支撑座上滑动设置有滑块，滑块上连接有用于取放晶圆的机械手，驱动件的输出端与传动组件的输入端连接，传动组件的输出端与滑块连接，用于驱动滑块沿真空腔室的长度方向移动，且能够带动机械手的前端移动至真空腔室外部。本实用新型提供的装置可以高效完成在真空环境下取放晶圆的功能；提高了工艺的制作效率；优化了晶圆在工艺过程中的传输方式，改善了整个晶圆镀膜工艺的效果，大大提升了生产效率。
本实用新型一种传输晶圆的真空机械手运动装置在权利要求书中公布了：1.一种传输晶圆的真空机械手运动装置，其特征在于，包括驱动件和真空腔室； 所述真空腔室的外壁上开设有真空管路安装预留孔和氮气管路安装预留孔，顶部铰接有用于打开或关闭真空腔室的第一腔盖； 所述真空腔室内设置有传动组件和滑轨支撑座，所述滑轨支撑座上滑动设置有滑块，所述滑块上连接有用于取放晶圆的机械手，所述驱动件的输出端与所述传动组件的输入端连接，所述传动组件的输出端与所述滑块连接，用于驱动所述滑块沿所述真空腔室的长度方向移动，且能够带动所述机械手的前端移动至所述真空腔室外部。
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