买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉安徽大鹏半导体有限公司申请的专利一种干法刻蚀设备腔体保护装置和干法刻蚀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223899631U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520332887.8，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种干法刻蚀设备腔体保护装置和干法刻蚀设备是由龚威;邓晓虎;戴嘉传;徐煜设计研发完成，并于2025-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种干法刻蚀设备腔体保护装置和干法刻蚀设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种干法刻蚀设备腔体保护装置和干法刻蚀设备。腔体保护装置包括：腔体贴合部包括第一通孔以及相对设置的第一表面和第二表面，第一通孔贯穿第一表面和第二表面；腔口贴合部设置有第二通孔，且位于腔体贴合部的第一表面，腔口贴合部的内壁直径与腔体贴合部的内壁直径相同，腔口贴合部的壁厚小于腔体贴合部的壁厚；底部贴合部设置在腔体贴合部的第二表面，且位于第一通孔内，底部贴合部的侧壁与腔体贴合部的内壁连接，底部贴合部远离腔口贴合部的表面与腔体贴合部靠近底部贴合部的表面平齐设置；腔体贴合部设置有第一孔洞和第二孔洞。本实用新型提高了对腔体内壁保护。

本实用新型一种干法刻蚀设备腔体保护装置和干法刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种干法刻蚀设备腔体保护装置，其特征在于，包括： 腔体贴合部、腔口贴合部和底部贴合部； 所述腔体贴合部包括第一通孔以及相对设置的第一表面和第二表面，所述第一通孔贯穿所述第一表面和所述第二表面； 所述腔口贴合部设置有第二通孔，且位于所述腔体贴合部的第一表面，所述腔口贴合部的内壁直径与所述腔体贴合部的内壁直径相同，所述腔口贴合部的壁厚小于所述腔体贴合部的壁厚； 所述底部贴合部设置在所述腔体贴合部的第二表面，且位于所述第一通孔内，所述底部贴合部的侧壁与所述腔体贴合部的内壁连接，所述底部贴合部远离所述腔口贴合部的表面与所述腔体贴合部靠近所述底部贴合部的表面平齐设置；其中，所述底部贴合部设置有第三通孔，且所述第三通孔的轴线与所述第一通孔的轴线和所述第二通孔的轴线在一条直线上； 所述腔体贴合部设置有第一孔洞和第二孔洞，所述第一孔洞与所述第二孔洞相对设置，所述第一孔洞与干法刻蚀设备腔体中的气体浓度传感器对应设置，所述第二孔洞与所述干法刻蚀设备腔体的物料进口对应设置； 所述底部贴合部设置有一切口部，所述切口部沿第一方向的中心线与所述第一孔洞沿所述第一方向的中心线重合，且所述切口部与所述干法刻蚀设备腔体的抽风口对应设置；其中，所述第一方向为由所述底部贴合部指向所述腔口贴合部的方向。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人安徽大鹏半导体有限公司，其通讯地址为：243071 安徽省马鞍山市郑蒲港新区新陶路107号金蒲电子信息产业园12#厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。