北京北方华创微电子装备有限公司刘晓环获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺设备及其冷却装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223899628U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520145015.0，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型半导体工艺设备及其冷却装置是由刘晓环;董丽荣;赵宏宇;高少飞;马宏帅;邓曾红;王锐廷;屠楠设计研发完成，并于2025-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体工艺设备及其冷却装置在说明书摘要公布了：本申请公开一种半导体工艺设备及其冷却装置，属于半导体技术领域。半导体工艺设备的冷却装置包括壳体，壳体用于容纳冷却腔室，壳体设有用于通入冷却介质的冷却进口和用于供冷却介质流出的冷却出口，且壳体的内侧设有导流板，导流板形成导流通道，导流通道分别与冷却进口和冷却出口连通。半导体工艺设备包括待冷却腔室和上述的冷却装置，待冷却腔室设置于壳体内。如此设置，无需在待冷却腔室内设置冷却管等冷却部件，冷却介质和冷却部件不会占用待冷却腔室的内部空间，使得待冷却腔室容纳工艺药液的量增多，待冷却腔室的空间利用率提高，有利于提高冷却效率，提高冷却效果。避免因冷却管破裂导致冷却介质和工艺药液混合的风险，提高安全性能。
本实用新型半导体工艺设备及其冷却装置在权利要求书中公布了：1.一种应用于半导体工艺设备的冷却装置，其特征在于，包括壳体200，所述壳体200用于容纳待冷却腔室100，所述壳体200设有用于通入冷却介质的冷却进口210和用于供所述冷却介质流出的冷却出口220，且所述壳体200的内侧设有导流板300，所述导流板300形成导流通道，所述导流通道分别与所述冷却进口210和所述冷却出口220连通。
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