科芯微(江苏)微电子有限公司杨军获国家专利权
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龙图腾网获悉科芯微(江苏)微电子有限公司申请的专利一种药液循环系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223899624U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520067792.8，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种药液循环系统是由杨军;高艳;关周设计研发完成，并于2025-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种药液循环系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种药液循环系统，包括内外设置的内槽以及外槽，内槽与外槽之间依次具有第一管路、循环泵、第二管路、过滤器以及第三管路，内槽连接有内槽排放管路，第一管路与内槽排放管路之间具有外槽排放管路，过滤器与内槽排放管路之间具有过滤杂质排放管路，第二管路上具有反冲洗管路；内槽排放管路靠近内槽的位置具有气动阀一，外槽排放管路上具有气动阀二，第一管路上具有气动阀三，第三管路上具有气动阀四，过滤杂质排放管路上具有气动阀五，内槽排放管路靠近出口的位置具有气动阀六，反冲洗管路靠近第二管路的位置具有球阀。本实用新型具有如下优点：实现药液循环过程中不停机状态下杂质的快速去除，保证晶圆清洗效率。
本实用新型一种药液循环系统在权利要求书中公布了：1.一种药液循环系统，其特征在于：包括内外设置的内槽1以及外槽2，所述内槽1与外槽2之间依次具有第一管路3、循环泵4、第二管路5、过滤器6以及第三管路7，所述第一管路3、循环泵4、第二管路5、过滤器6以及第三管路7连接形成循环管路，所述内槽1连接有内槽排放管路8，所述第一管路3与内槽排放管路8之间具有外槽排放管路9，所述过滤器6与内槽排放管路8之间具有过滤杂质排放管路10，所述第一管路3以及第二管路5上具有反冲洗管路11； 所述内槽排放管路8靠近内槽1的位置具有气动阀一12，所述外槽排放管路9上具有气动阀二13，所述第一管路3上具有气动阀三14，所述第三管路7上具有气动阀四15，所述过滤杂质排放管路10上具有气动阀五16，所述内槽排放管路8靠近出口的位置具有气动阀六17，所述反冲洗管路11靠近第二管路5的位置具有球阀18。
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