南京屹立芯创半导体科技有限公司张景南获国家专利权
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龙图腾网获悉南京屹立芯创半导体科技有限公司申请的专利除泡设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223899623U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520044155.9，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型除泡设备是由张景南;陈明展设计研发完成，并于2025-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本除泡设备在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体技术领域，具体公开一种除泡设备，包括除泡腔室、第一真空系统、第二真空系统及第一切换单元。第一真空系统用于为除泡腔室提供负压；第二真空系统用于为除泡腔室提供负压；第一切换单元设置于第一真空系统、第二真空系统与除泡腔室的连接管路中，当第一切换单元处于第一切换状态时，第一真空系统连接至除泡腔室，第二真空系统与除泡腔室之间的连接断开，当第一切换单元处于第二切换状态时，第二真空系统连接至除泡腔室，第一真空系统与除泡腔室之间的连接断开。通过第一真空系统、第二真空系统以及第一切换单元的配合，能够在其中一个真空系统出现故障时，无缝切换使用另一个真空系统，无需中断除泡设备，确保晶圆不会报废。
本实用新型除泡设备在权利要求书中公布了：1.一种除泡设备，其特征在于，包括： 除泡腔室； 第一真空系统，连接所述除泡腔室，用于为所述除泡腔室提供负压； 第二真空系统，连接所述除泡腔室，用于为所述除泡腔室提供负压； 第一切换单元，设置于所述第一真空系统、所述第二真空系统与所述除泡腔室的连接管路中，当所述第一切换单元处于第一切换状态时，所述第一真空系统连接至所述除泡腔室，所述第二真空系统与所述除泡腔室之间的连接断开，当所述第一切换单元处于第二切换状态时，所述第二真空系统连接至所述除泡腔室，所述第一真空系统与所述除泡腔室之间的连接断开。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人南京屹立芯创半导体科技有限公司，其通讯地址为：211500 江苏省南京市江北新区星火北路11号1楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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