苏州首镭激光科技有限公司张晓峰获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州首镭激光科技有限公司申请的专利晶圆退火设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223899621U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423309375.4，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型晶圆退火设备是由张晓峰;胡秋立设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆退火设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆退火设备，其包括机架、设于机架上的载台组件、激光组件及CCD组件，载台组件包括移动机构、在移动机构带动下进行移动的载台及罩设于载台上的氮气仓，晶圆设于所述载台上，氮气仓上设有透明镜片；所述激光组件位于载台组件的上方，激光组件包括第一激光器、第二激光器、将第一激光器及第二激光器出射光整合为一束复合光的复合镜片、调整复合光方向的第一光路组件及激光扫描头，所述激光扫描头位于所述透明镜片上方；CCD组件设于所述激光扫描头的一侧并与所述激光扫描头同步移动。如此设置，一方面提高了退火过程的效率和均匀性，另一方面，两个激光器能够同时或分别对晶圆进行退火处理，提供了更灵活的退火策略。
本实用新型晶圆退火设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆退火设备，其特征在于：包括机架、设于机架上的载台组件、激光组件及CCD组件，所述载台组件包括移动机构、在所述移动机构带动下进行移动的载台及罩设于所述载台上的氮气仓，所述晶圆设于所述载台上，所述氮气仓上设有透明镜片；所述激光组件位于所述载台组件的上方，用于对所述载台上的晶圆进行激光退火，所述激光组件包括第一激光器、第二激光器、将所述第一激光器及第二激光器出射光整合为一束复合光的复合镜片、调整所述复合光方向的第一光路组件及设于所述第一光路组件的出射方向上的激光扫描头，所述激光扫描头位于所述透明镜片上方；所述CCD组件设于所述激光扫描头的一侧并与所述激光扫描头同步移动。
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