上海原力芯辰科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉上海原力芯辰科技有限公司申请的专利一种镀膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223899618U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520168281.5，技术领域涉及：H10K71/12；该实用新型一种镀膜装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种镀膜装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种镀膜装置，涉及半导体设备技术领域。镀膜装置包括腔体、进气管、排气管、进气调节阀以及排气调节阀。腔体用于容置基底，腔体设置有至少两个进气管和至少两个排气管，进气管和排气管均与腔体的内部腔室连通，每个进气管均设置有进气调节阀，进气调节阀用于调节通过进气管的气流量，每个排气管均设置有排气调节阀，排气调节阀用于调节通过排气管的气流量，由此根据本实用新型的镀膜装置控制腔体内压力，使得基底表面各处压力分布更加均匀，以此控制腔体内多个位置的挥发速率基本一致，从而使得基底上成形的薄膜更加的均匀，提高了成膜的致密性和均匀性。
本实用新型一种镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种镀膜装置，其特征在于，包括腔体100、进气管200、排气管300、进气调节阀400以及排气调节阀500； 所述腔体100用于容置基底11，所述腔体100设置有至少两个进气管200和至少两个排气管300，所述进气管200和所述排气管300均与所述腔体100的内部腔室连通，每个所述进气管200均设置有所述进气调节阀400，所述进气调节阀400用于调节通过所述进气管200的气流量，每个所述排气管300均设置有所述排气调节阀500，所述排气调节阀500用于调节通过所述排气管300的气流量。
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