浙江创芯集成电路有限公司李亚林获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利反应腔以及半导体加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223898297U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520420908.1，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型反应腔以及半导体加工设备是由李亚林;史甲;孙剡;靳忆帆设计研发完成，并于2025-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本反应腔以及半导体加工设备在说明书摘要公布了：一种反应腔以及半导体加工设备，其中反应腔包括：基座；边缘环，边缘环内具有连接孔，且边缘环安装于基座的表面；中环，中环内具有第一连接通孔，且中环安装于边缘环与基座之间；保护环，保护环内具有第二连接通孔，且保护环安装于连接孔的侧壁表面；连接部，贯穿于第二连接通孔与第一连接通孔，以使得边缘环与中环固定连接。通过在边缘环中的连接孔内设置保护环，避免在固定连接的过程中对边缘环中的连接孔侧壁的损伤，保证了边缘环的完整性；且保护环与边缘环分开独立设置，在使用时连接，进而在保护环出现损伤时仅需更换新的保护环，无需更换边缘环，进而降低了制程成本以及提高反应腔工作的效率。
本实用新型反应腔以及半导体加工设备在权利要求书中公布了：1.一种反应腔，其特征在于，包括： 基座； 边缘环，所述边缘环内具有连接孔，且所述边缘环安装于所述基座的表面，且部分所述边缘环绕所述基座设置； 中环，所述中环内具有第一连接通孔，且所述中环安装于所述边缘环与所述基座之间； 保护环，所述保护环内具有第二连接通孔，且所述保护环安装于所述连接孔的侧壁表面； 连接部，贯穿于所述第二连接通孔与所述第一连接通孔，以使得所述边缘环与所述中环固定连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江创芯集成电路有限公司，其通讯地址为：311200 浙江省杭州市萧山区宁围街道平澜路2118号浙江大学杭州国际科创中心水博园区11幢4层-5层(自主申报)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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