深圳市四元数半导体有限公司李标获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市四元数半导体有限公司申请的专利一种具有自动抽真空功能的曝光机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223897768U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520211042.3，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种具有自动抽真空功能的曝光机是由李标设计研发完成，并于2025-02-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有自动抽真空功能的曝光机在说明书摘要公布了：本实用新型涉及曝光机技术领域，特别涉及一种具有自动抽真空功能的曝光机，包括：曝光机构及压膜机构；吸真空装置，所述吸真空装置设置在所述曝光机构的前侧，所述吸真空装置用于将曝光的板材进行抽真空；送料机构，所述送料机构设置在所述吸真空装置与所述曝光机构之间。具体放置板材时，将基板与转印板一起放置在底框内，并由边缘限位框对基板与转印板限位，这样再通过边缘限位框上的负压膜压制基板与转印板后，需要说明的是边缘限位框底部与底框之间设置有硅胶层，硅胶层接触后能够形成密封状态，这样当负压真空装置抽吸气阀嘴时，内部能够形成密封状态，而且能防止漏气的情况出现。
本实用新型一种具有自动抽真空功能的曝光机在权利要求书中公布了：1.一种具有自动抽真空功能的曝光机，其特征在于，包括： 曝光机构2及压膜机构6； 吸真空装置1，所述吸真空装置1设置在所述曝光机构2的前侧，所述吸真空装置1用于将曝光的板材进行抽真空； 送料机构3，所述送料机构3设置在所述吸真空装置1与所述曝光机构2之间，且位于所述吸真空装置1处的送料机构3的外端向外露出所述吸真空装置1，所述送料机构3的顶部设置有放置台4； 板材放置机构5，所述板材放置机构5放置在所述放置台4的顶部，所述板材放置机构5用于限制板材，且在所述吸真空装置1的作用下，板材放置区间呈真空状态； 其中，所述吸真空装置1包括其内部设置有负压真空装置7，所述负压真空装置7在所述压膜机构6的作用下上下移动，当负压真空装置7与所述板材放置机构5接触时，板材放置机构5被所述负压真空装置7抽吸呈真空状态。
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