无锡环亚微电子有限公司张军区获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡环亚微电子有限公司申请的专利一种涂胶显影机精准均匀涂胶限位校准装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223897767U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520680809.7，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型一种涂胶显影机精准均匀涂胶限位校准装置是由张军区;张浩设计研发完成，并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种涂胶显影机精准均匀涂胶限位校准装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种涂胶显影机精准均匀涂胶限位校准装置，包括用于在涂胶显影机机箱内部顶部安装的校准机架，校准机架均包括用于进行收纳的储机柜和用于对涂胶显影机内部基片承载台平面度进行校准的调节座，左向校准机架包括的调节座内部设有用于进行平整度测量的千分表，旨在涂胶显影机内部利用千分表对基片承载台进行内部校准检测，同时对千分表固定机架进行储存收纳处理，避免机架占用涂胶显影机内部过多位置，影响干涉涂胶显影机内部工艺过程，通过两侧可延伸机架延长千分变的校准检测位置，智能化记录千分表检测校准的定位位置，精准控制千分表的校准位置，避免每一次校准操作时需要重新调整校准位置，自动化简化校准步骤。
本实用新型一种涂胶显影机精准均匀涂胶限位校准装置在权利要求书中公布了：1.一种涂胶显影机精准均匀涂胶限位校准装置，其特征在于：所述装置本体包括用于在涂胶显影机机箱内部顶部安装的校准机架，校准机架包括左向校准机架1和右向校准机架2，左向校准机架1和右向校准机架2均包括用于进行收纳的储机柜4和用于对涂胶显影机内部基片承载台平面度进行校准的调节座3，左向校准机架1包括的调节座3内部设有用于进行平整度测量的千分表，储机柜4内部设有用于对调节座3进行收纳放置的储存口，储存口内部靠近调节座3的一侧用于对调节座3进行位置调节限位的限位单元，调节座3内部设有用于对千分表进行位置校准的校准单元。
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