华彩(湖北)电子材料有限公司明天获国家专利权
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龙图腾网获悉华彩(湖北)电子材料有限公司申请的专利一种高精度光刻胶涂布均匀性增强装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223897766U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520656800.2，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型一种高精度光刻胶涂布均匀性增强装置是由明天;肖蔓达;代涛设计研发完成，并于2025-04-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高精度光刻胶涂布均匀性增强装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及光刻胶涂布技术领域，尤其是一种高精度光刻胶涂布均匀性增强装置，包括底框，所述底框的内部顶端安装有支撑板，所述支撑板的顶端安装有夹持机构，所述支撑板的中间放置有晶圆，所述晶圆的上方安装有涂布机构；所述夹持机构包括夹持板，所述支撑板的顶端中间开有放置槽。有益效果在于：本实用新型通过啮合连接来带动第一齿轮和电加热杆转动，从而使得刮匀板在晶圆的表面进行圆周旋转，并对降温粘稠的光刻胶进行加热和增加流动性，从而便于刮匀板对光刻胶刮擦均匀涂布在晶圆的表面，增强光刻胶涂布的均匀性，避免降温且粘稠的光刻胶无法刮擦均匀涂布在晶圆的表面。
本实用新型一种高精度光刻胶涂布均匀性增强装置在权利要求书中公布了：1.一种高精度光刻胶涂布均匀性增强装置，包括底框1，其特征在于：所述底框1的内部顶端安装有支撑板5，所述支撑板5的顶端安装有夹持机构，所述支撑板5的中间放置有晶圆13，所述晶圆13的上方安装有涂布机构； 所述夹持机构包括夹持板19，所述支撑板5的顶端中间开有放置槽16，所述晶圆13放置在所述放置槽16的中间，所述夹持板19活动夹持在所述晶圆13的周围； 所述涂布机构包括涂胶筒10、涂胶头7和刮匀机构，所述支撑板5的上方安装有安装板9，所述涂胶筒10安装在所述安装板9顶端的两端，所述涂胶头7呈一字型分布在涂胶筒10的下方，所述刮匀机构间隙安装在所述晶圆13的顶端。
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