微晶半导体材料(苏州)有限公司阮加龙获国家专利权
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龙图腾网获悉微晶半导体材料(苏州)有限公司申请的专利一种半导体硅片生产用涂胶装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223897765U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520378832.0,技术领域涉及:G03F7/16;该实用新型一种半导体硅片生产用涂胶装置是由阮加龙设计研发完成,并于2025-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体硅片生产用涂胶装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体芯片技术领域,本实用新型公开了一种半导体硅片生产用涂胶装置,包括吹气盘,所述吹气盘的截面形状设置为圆环状,所述吹气盘的底端连通有多个呈现环形分布的喷嘴,所述吹气盘的两侧均连通有出气管,所述出气管远离吹气盘的一端连通有气筒,所述气筒的内部密封滑动有活塞;所述活塞固定连接于夹板上;电动推杆驱动两个夹板朝着相互远离的方向移动时,此时活塞挤压气筒内的空气,将气筒内的空气通过出气管排出吹气盘内,最后通过倾斜设置的喷嘴喷洒至圆形的半导体硅片的表面,快速将半导体硅片表面的胶体吹干,无需将半导体硅片取出后进行烘干,节省了后续处理时间,减少了后续烘干步骤,工作效率更高。
本实用新型一种半导体硅片生产用涂胶装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体硅片生产用涂胶装置,其特征在于:包括吹气盘1,所述吹气盘1的截面形状设置为圆环状,所述吹气盘1的底端连通有多个呈现环形分布的喷嘴,所述吹气盘1的两侧均连通有出气管2,所述出气管2远离吹气盘1的一端连通有气筒4,所述气筒4的内部密封滑动有活塞6; 所述活塞6固定连接于夹板7上,通过电动推杆8驱动所述夹板7往复移动带动活塞6同时移动,使得与气筒4连通的进气管5吸气,通过喷嘴对涂胶后半导体硅片喷气。
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