慕德微纳(杭州)科技有限公司仇旻获国家专利权
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龙图腾网获悉慕德微纳(杭州)科技有限公司申请的专利一种倾斜光栅刻蚀工装和刻蚀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223897675U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520576587.4，技术领域涉及：G02B5/18；该实用新型一种倾斜光栅刻蚀工装和刻蚀设备是由仇旻;杜凯凯;蔡璐设计研发完成，并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种倾斜光栅刻蚀工装和刻蚀设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种倾斜光栅刻蚀工装和刻蚀设备，倾斜光栅刻蚀工装，包括托板、多个穿设于托板上的倾斜安装座、凹陷设置于倾斜安装座的倾斜表面的工件安装槽、通过弹性件安装于倾斜安装座上的限位条、以及开设于倾斜安装座底面的氦气通孔，限位条的移动路径经过工件安装槽的上方，氦气通孔连通于工件安装槽；刻蚀设备包括刻蚀反应腔、设置于刻蚀反应腔内并带有背氦气孔的载盘、以及上述刻蚀工装。本实用新型的倾斜光栅刻蚀工装其具有便于多个工件的批量倾斜安装的优点，刻蚀设备具有减少刻蚀耗时、适用于批量倾斜光栅刻蚀的优点。
本实用新型一种倾斜光栅刻蚀工装和刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种倾斜光栅刻蚀工装，其特征在于：包括托板5、多个穿设于所述托板5上的倾斜安装座6、凹陷设置于所述倾斜安装座6的倾斜表面的工件安装槽7、通过弹性件8安装于所述倾斜安装座6上的限位条9、以及开设于所述倾斜安装座6底面的氦气通孔10，所述限位条9的移动路径经过所述工件安装槽7的上方，所述氦气通孔10连通于所述工件安装槽7。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人慕德微纳(杭州)科技有限公司，其通讯地址为：311199 浙江省杭州市临平区星桥街道星桥北路60号1幢C140-C144；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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