沈阳天科合达半导体设备有限公司崔洁获国家专利权
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龙图腾网获悉沈阳天科合达半导体设备有限公司申请的专利一种水冷托盘装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223892920U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520821032.1，技术领域涉及：C30B15/00；该实用新型一种水冷托盘装置是由崔洁;赵科新;王海涛设计研发完成，并于2025-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种水冷托盘装置在说明书摘要公布了：一种水冷托盘装置属于真空设备技术领域。本实用新型包括连接板和连接底托，所述连接板连接在托盘上方，所述连接底托连接在托盘下方，所述连接板上方设置有水路板，所述水路板上方设置有上盖，所述上盖与托盘上沿连接，所述连接板中部与水路内管固定在一起，所述水路内管延伸至所述上盖与所述水路板之间，所述连接底托与水路外管连接，所述水路外管延伸至托盘和所述连接板之间，所述水路内管位于所述水路外管内，所述水路外管上分别连接有内水水嘴和外水水嘴，所述内水水嘴与所述水路内管内部连通，所述外水水嘴与所述水路外管与所述水路内管之间的空间连通。本实用新型能够实现对托盘的快速降温，提高了托盘降温的稳定性，从而提高生产效率。
本实用新型一种水冷托盘装置在权利要求书中公布了：1.一种水冷托盘装置，其特征在于，包括连接板1和连接底托2，所述连接板1连接在托盘3上方，所述连接底托2连接在托盘3下方，所述连接板1上方设置有水路板4，所述水路板4上方设置有上盖5，所述上盖5与托盘3上沿连接，所述连接板1中部与水路内管6固定在一起，所述水路内管6延伸至所述上盖5与所述水路板4之间，所述连接底托2与水路外管7连接，所述水路外管7延伸至托盘3和所述连接板1之间，所述水路内管6位于所述水路外管7内，所述水路外管7上分别连接有内水水嘴8和外水水嘴9，所述内水水嘴8与所述水路内管6内部连通，所述外水水嘴9与所述水路外管7与所述水路内管6之间的空间连通。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人沈阳天科合达半导体设备有限公司，其通讯地址为：110000 辽宁省沈阳市于洪区旺港大街110-4号1门；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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