合肥微睿科技股份有限公司冯卫东获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥微睿科技股份有限公司申请的专利一种加热基座的清洗遮蔽装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223892870U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520176184.0，技术领域涉及：C23G3/00；该实用新型一种加热基座的清洗遮蔽装置是由冯卫东;李小岗;江顺设计研发完成，并于2025-01-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种加热基座的清洗遮蔽装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种等离子体增强化学气相沉积镀膜设备中加热基座的清洗遮蔽装置，包括耐蚀的弹性圆柱体和弹性阶梯轴，所述弹性圆柱体用于和所述加热基座的衬套孔适配，所述弹性圆柱体的一端与所述弹性阶梯轴的小端螺纹连接，所述弹性阶梯轴的大端用于和所述加热基座的顶针头孔适配，属于PECVD设备中加热基座维修清洗技术领域。本实用新型提供的清洗遮蔽装置通过弹性圆柱体和弹性阶梯轴螺纹连接避免脱落，同时由于螺纹连接产生径向膨胀，弹性圆柱体和弹性阶梯轴弹力贴合并遮蔽阶梯通孔内壁。
本实用新型一种加热基座的清洗遮蔽装置在权利要求书中公布了：1.一种加热基座的清洗遮蔽装置，其特征在于，包括耐蚀的弹性圆柱体1和弹性阶梯轴2，所述弹性圆柱体1用于和所述加热基座的衬套孔402适配，所述弹性圆柱体1的一端与所述弹性阶梯轴2的小端202螺纹连接，所述弹性阶梯轴2的大端201用于和所述加热基座的顶针头孔403适配。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥微睿科技股份有限公司，其通讯地址为：230012 安徽省合肥市新站区九顶山路1766号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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