浙江创芯集成电路有限公司梁志获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利调节机台长膜平坦度装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223892859U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520537580.1，技术领域涉及：C23C16/52；该实用新型调节机台长膜平坦度装置是由梁志;靳忆帆;莫湘杨;叶洲设计研发完成，并于2025-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本调节机台长膜平坦度装置在说明书摘要公布了：一种调节机台长膜平坦度装置，包括：反应腔体；喷淋头，用于向反应腔体内通入工艺气体；加热盘，用于承载并加热放入反应腔体内的晶圆；调节杆，调节杆沿第一方向延伸，调节杆一端与加热盘固定连接，调节杆的另一端贯穿反应腔体的侧壁并延伸至反应腔体的外部；调节板，调节板设置于反应腔体的外部，且调节板与调节杆固定连接；刻度微调装置，刻度微调装置分别与调节板和反应腔体固定连接，刻度微调装置用于调节加热盘的倾斜幅度。通过增设刻度微调装置实现加热盘的倾斜幅度调整，使得每次的调节具有刻度的数据支撑，便于后期分析晶圆膜生长平坦度分析，不存在因人而异的质量问题。而且维护机台快速稳定晶圆膜生长平坦度数值要求，增加产品生产量。
本实用新型调节机台长膜平坦度装置在权利要求书中公布了：1.一种调节机台长膜平坦度装置，其特征在于，包括： 反应腔体； 喷淋头，所述喷淋头设置于所述反应腔体内，所述喷淋头用于向所述反应腔体内通入工艺气体； 加热盘，所述加热盘设置于所述反应腔体内，所述加热盘用于承载并加热放入所述反应腔体内的晶圆； 调节杆，所述调节杆沿第一方向延伸，所述第一方向垂直于所述加热盘的承载表面，所述调节杆一端与所述加热盘固定连接，所述调节杆的另一端贯穿所述反应腔体的侧壁并延伸至所述反应腔体的外部； 调节板，所述调节板设置于所述反应腔体的外部，且所述调节板与所述调节杆固定连接； 刻度微调装置，所述刻度微调装置分别与所述调节板和所述反应腔体固定连接，所述刻度微调装置用于调节所述加热盘的倾斜幅度。
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